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成都格罗方德快马加鞭 剑指世界级智能自动化工厂
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泽明    等级  

楼主 发表于  2017/4/13 14:22:14    编 辑   

成都高新区的格罗方德晶圆厂正在快马加鞭的建设中,自打今年2月10日宣布开工后,“5+2”“白+黑”的施工建设,预计于明年3月前完成项目建设。据说,这家代号为“Fab11”的晶圆代工厂,是格罗方德在全球的第11家晶圆代工厂,也是中国西南地区首条12英寸晶圆生产线,总占地近76万平方米,相当于1800个标准篮球场的大小,建成后将成为世界上标准最高、体量最大的晶圆代工厂之一。
Fab11项目包括至少3类重点建筑:百级洁净车间的FAB厂房类建筑;制备、储存、处理有毒化学气体及液体的气体站及危险品库类建筑;进程高低压变配及输送管理的变电站及动力厂房类建筑。
值得关注的是,晶圆生产必须在洁净环境下进行,Fab11项目将打造6.5万平方米的晶圆生产洁净室,洁净等级为100级,比手术室的洁净要求还要高百倍。这么高要求是为啥哩?。理论上讲,晶圆厂愈干净,则晶圆的良率愈高。因为晶体管本身的线路非常微小,例如:0.13μm(微米)的闸极线宽,只要一颗很小的灰尘掉落到晶圆上,就会造成晶体管短路烧毁。因此必须在极度干净的地方生产
此外,作为格罗方德在中国最大和最先进的晶圆制造基地,对关键部位建筑材料和专用设备的技术指标要求都非常高,很多建材、设备须要从全球范围内精挑细选“量身定制”。
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